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中走丝线内圆切开技能及切开机床查验标准

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中走丝线内圆切开技能及切开机床查验标准

发布日期:2020-11-16 00:00 来源:http://www.pulichen.com 点击:

中走丝线内圆切开技能及切开机床查验标准

中走丝线切割

中走丝线切割加工中同内圆切开技能相比有其显着的缺点,一是片厚平均误差较大(约为内圆切开技能2倍)。二是切开进程中智能检测控制不易完成。三是切开进程的成功率要求较高,风险大,一但断丝而不行抢救时,直接糟蹋一根单晶棒。四是不能完成单片质量控制,一次切开完成后,才干检测一批圆片的切开质量,并且圆片之间切开质量也不相同。

在这些方面,电火花线切开内圆切开技能却显示出其优越性来。具体表现在:

a、自动、单片方式切换操作方便性。、

b、小批量多标准加工时灵活的加工可调性。

c、切片精度高,切片成本低,同标准级的内圆切片机价格为线切开机价格1/3~1/4,线切开机还需装备专用粘料机,每片都可调整。

d、低成本的辅料(线切开机磨料及磨料液要守时更换)。

e、不同片厚所需较小的调整时刻,不同棒径所需较小的调整时刻。f、修刀、装刀方便。八十年代中后期人们普遍认为:随着硅晶片大片径化开展,线切开技能是硅片切开的干流技能,在规模化晶圆片切开中将替代内圆切开技能。因而人们加大了对200mm以上线切开机的研究,以处理其技能不足。

中走丝线切割机床预查验的意图是为了查看、验证机床能否满足用户的加工质量及生产率,查看供货商提供的资料、备件。其首要作业包含:

(1)查验机床首要零部件是否按合同要求制造。

(2)各机床参数是否到达合同要求。

(3)查验机床几许精度及位置精度是否合格。

(4)机床各动作是否正确。

(5)对合同未要求部分查验,如发现不满意处可向生产厂家提出,以便及时改善。

(6)对试件进行加工,查看是否到达精度要求。

(7)做好预查验记录,包含精度查验及要求改善之处,并由生产厂家签字。


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